lnu.sePublikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Novel transparent Mg-Si-O-N thin films with high hardness and refractive index
Linnéuniversitetet, Fakulteten för teknik (FTK), Institutionen för byggd miljö och energiteknik (BET).
Linköping University.
Linköping University.
Linköping University.
Visa övriga samt affilieringar
2016 (Engelska)Ingår i: Vacuum, ISSN 0042-207X, E-ISSN 1879-2715, Vol. 131, s. 1-4Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

There is an increasing demand for glass materials with better mechanical and optical properties for display and electronic applications. This paper describes the deposition of novel thin films of Mg-Si-O-N onto float glass substrates. Amorphous thin films in the Mg-Si-O-N system with high nitrogen and magnesium contents were deposited by reactive RF magnetron co-sputtering from Mg and Si targets in Ar/N2/O2 gas mixtures. The thin films studied span an unprecedented range of compositions up to 45 at% Mg and 80 at% N out of cations and anions respectively. Thin films in the Mg-Si-O-N system were found to be homogeneous and transparent in the visible region. Mechanical properties like hardness (H) and reduced elastic modulus (Er) show high values, up to 21 GPa and 166 GPa respectively. The refractive index (1.87-2.00) increases with increasing magnesium and nitrogen contents.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
2016. Vol. 131, s. 1-4
Nyckelord [en]
Hardness, High nitrogen content, Magnetron sputtering, Oxynitride thin films, Refractive index
Nationell ämneskategori
Oorganisk kemi
Forskningsämne
Naturvetenskap, Kemi
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:lnu:diva-56070DOI: 10.1016/j.vacuum.2016.05.023ISI: 000381541400001Scopus ID: 2-s2.0-84973473660OAI: oai:DiVA.org:lnu-56070DiVA, id: diva2:971443
Forskningsfinansiär
EU, Europeiska forskningsrådet, FP/2007e2013Tillgänglig från: 2016-09-16 Skapad: 2016-08-31 Senast uppdaterad: 2017-11-21Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Övriga länkar

Förlagets fulltextScopus

Personposter BETA

Ali, SharafatJonson, Bo

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Ali, SharafatJonson, Bo
Av organisationen
Institutionen för byggd miljö och energiteknik (BET)
I samma tidskrift
Vacuum
Oorganisk kemi

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

doi
urn-nbn

Altmetricpoäng

doi
urn-nbn
Totalt: 842 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • de-DE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • sv-SE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf